美国TELEMARK公司TVP1800/TVP3600水蒸气低温冷阱

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发布时间 : 2021-10-14
美国TELEMARK公司TVP1800/TVP3600水蒸气低温冷阱
快速抽气,有效的捕获真空室内的水蒸气,最大效率的满足真空镀膜的需要。
特点:
1、在较短周期内快速降温。
2、更有效的抽水蒸气。
3、占地面积小(制冷强)。
4、快速除霜。
5、数字控制技术。
6、缩短泵的抽气时间到25%至90%。
7、提高真空度。
8、提高镀膜膜层的质量。
9、有单路和双路选择(TVP3600)。
10、不使用昂贵的LN2,快速收回成本。
 
在PVD镀膜真空领域,我们领先开发了新的水蒸气疏水阀,改进抽气技术。在增强技术模式下TVP水蒸气低温冷阱完全兼容您现在的真空系统。提供多种连接模式,有以太网、RS-232、RS-485和模拟遥控器。预定数字控制系统能全方位的监测工艺流程,在系统板上提供多个可调节的用途,适用于最优的工艺控制。TVP低温冷阱有不同的制冷剂适用于不同的国家和地区(包括:US、EPA、EC等国际标准)
 
 
温度与冷凝功率及水蒸气压力转换表
功率100%
水蒸气压力(单位:Torr)
98
温度转换(单位:Co
95
温度转换(单位:Co
5X10-3 -89.6 -84.3
2X10-3 -94.6 -89.6
1X10-3 -98.2 -93.4
5X10-4 -101.6 -97.0
2X10-4 --106.0 -101.6
1X10-4 -109.1 -104.9
5X10-5 -112.2 -108.1
2X10-5 -116.0 -112.2
1X10-5 -118.8 -115.1
5X10-6 -121.5 -117.9
2X10-6 -125.0 -121.5
1X10-6 -127.5 -124.1
5X10-7 -129.9 -126.7
2X10-7 -132.9 -129.9
1X10-7 -135.2 -132.2
5X10-8 -137.3 -134.5
2X10-8 -140.1 -137.3
1X10-8 -142.1 -139.5
 
低温冷阱参数表
  TVP1800 TVP3600
最大负荷(Watts) 1,800 3,600
最大抽速(l/sec) 80,000 230,000
冷却水耗量(最大) 5 lt./min @ 15 oC      
10 lt./min @ 25 oC    
20 lt./min @ 32 oC    
8 lt./min @ 15oC
16 lt./min @ 25oC
20 lt./min @ 32oC
最大电流@200-230 VAC 30 Amp 85 Amp
最大电流@380-440 VAC  15 Amp 45 Amp
重量 485lbs
243kg
930lb
412kg
极限真空 2×10-8 (torr) mbar
最低温度 -140℃
电源 200-230 VAC 3 ph 50/60 Hz 或380-440 VAC 3 ph 50/60 Hz
冷却水接头尺寸 3/4” BSP female & hose barbs
制冷剂管接头尺寸 1/2” Parker UltraSeal
 
 
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