真空镀膜技术

  • 真空镀膜之蒸发镀膜机的原理及性能

    真空镀膜之蒸发镀膜机的原理及性能

    在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜
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